產(chǎn)品關(guān)鍵詞：單晶硅片測厚儀、單晶硅片厚度檢測儀器、單晶硅片厚度測量?jì)x器、單晶硅片厚度測試儀

Labthink蘭光的CHY-CA改款型測厚儀，可用于單晶硅片厚度的檢測，測試分辯率高達0.1微米，*單晶硅片對厚度高精度測試的要求；同時(shí)測試幅面寬度可以達到400mm，*單晶硅片整個(gè)幅面厚度測試的要求。CHY-CA改款型測厚儀除了具備高精度、率等特點(diǎn)外，還采用測量樣品自動(dòng)前進(jìn)驅動(dòng)系統，大大提高了測試效率，充分滿(mǎn)足用戶(hù)連續測試的要求，并配有專(zhuān)業(yè)軟件支持，操作方便、人機交互友好。

1、結構組成 
   CHY-CA改款型測厚儀主要由控制系統、測量系統、打印輸出系統三部分組成。測量系統對薄膜進(jìn)行測量，并輸出相應電信號；控制系統用以參數的設定、修改、傳輸信號的處理、測量結果的顯示等；打印輸出系統的功能是統計結果的輸出，打印試驗結果。